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开yun体育网当激光穿过这些符号时-开云·kaiyun(全站)体育官方网站/网页版 登录入口
在半导体芯片制造规模，一项来自麻省大学阿默斯特分校的创新工夫正激勉凡俗关怀。该校筹商东谈主员成立出一种诓骗激光和齐心超透镜瞄准3D半导体芯片的新措施，其精度之高致使不错揭示原子级错位，为3D芯片制造带来了立异性的龙套。
这项工夫的中枢在于使用激光和全息图来检测芯片层之间的错位。筹商东谈主员在半导体芯片上镶嵌了由齐心超透镜制成的瞄准符号，当激光穿过这些符号时，会投射出两个相互搅扰的全息图。通过分析这些全息图，筹商东谈主员粗略精准地检测到芯片层之间的错位，精度可达0.017纳米，远超传统措施的200纳米极限。
这一龙套不仅粗略显赫缩短芯片制形本钱，还能相沿3D光子和电子芯片的成立，为经济实惠的紧凑型传感器工夫开放大门。传统2D芯片盘算已接近工夫极限，而3D集成被视为最有出息的前进谈路。干系词，3D芯片制造濒临的最大挑战之一是多层芯片的精准瞄准。麻省大学阿默斯特分校的这项新工夫，通过激光全息工夫科罚了这一坚苦。
“显微镜无法同期看到聚焦中的两个十字准线，因为各层之间的破绽为数百微米，况兼层之间重新聚焦的通顺为芯片移动和进一步错位提供了契机。”论文的主要作家Maryam Ghahremani评释谈。而新措施无需移动部件，不错在更小的比例尺下看到两个远处的层之间的错位，其精度远超传统措施。
该工夫的应用出息宽敞。除了缩短3D芯片制形本钱外，它还不错用于制造各式传感器，如压力传感器、振动传感器等。筹商东谈主员暗意，这种措施只需一个通俗的激光器和一个相机，就不错检测到好多物理量的变化，为半导体工夫的创新提供了新的可能性。
麻省大学阿默斯特分校的筹商后果发表在《当然通信》上，这一龙套性的工夫有望为半导体行业带来深化的影响，鞭策3D芯片工夫的凡俗应用和发展。
参考费事：DOI： 10.1038/s41467-024-53219-z开yun体育网